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Riscaldamento linee gas 

Erogazione di gas

L'ortosilicato di tetraetile (TEOS), il tricloruro di boro (BCl3), il cloruro di alluminio (AlCl3), il trifluoruro di cloro (ClF3) e il diclorosilano (DCS) sono gas che si condensano e liquefanno a causa di uno spostamento di fase a basse temperature. Nei processi dei semiconduttori la condensazione si verifica nelle tubazioni del gas e si impasta nel soffione prima di essere iniettata nella camera a vuoto. Se dei gas liquefatti sono iniettati nella camera a vuoto si verificherà un numero significativo di difetti dei wafer. Il riscaldamento uniforme dei condotti impedirà la condensazione. Le tubazioni TEOS sono generalmente riscaldate sopra i 194 °F (90 °C) e quelle BCl3 sopra agli 86 °F (30 °C), a seconda della pressione e portata. La temperatura ottimale delle tubazioni varierà a seconda dei parametri di processo.

Specifiche tecniche:

Materiale Di Guaina Temperature max di Esercizio Densità Di Potenza
°F °C W/in2 W/cm2
Gomma siliconica  392 200 2.5 0.39
  • Densità in watt di 2,5 W/pollici2 (0,4 W/cm2) sul D.E. della tubazione del gas
  • Certificazione UL® per gli standard di sicurezzaU.S.A.e canadesi
  • I riscaldatori e gli isolatori soddisfano i requisiti di infiammabilità UL94-HB
  • Riempitivi diritti isolati per la copertura al 100% delle tubazioni; i gomiti e gli elementi a T son
  • D.I. disponibile: 1⁄4, 3⁄8, 1⁄2, 3⁄4 di pollice (6, 9,5, 13,19 mm)
  • 120V standard, altre tensioni disponibili
  • Bottoni automatici in metallo di piccole dimensioni
  • Parete da 3⁄8 di pollice (9,5 mm), gomma siliconica, spugna a cella chiusa

Applicazioni:

  • Tubazioni per l'erogazione del gas

Caratteristiche:

Caratteristiche Vantaggi
Sistema composto di due parti facile da installare
  • Installabile comodamente nella maggior parte delle configurazioni delle tubazioni per gas
Design di riscaldatore flessibile
  • Offre agli ingegneri la flessibilità di personalizzare facilmente il profilo termico di ogni applicazione di tubazione del gas
  • Consente la realizzazione rapida di prototipi al fine di determinare i requisiti di distribuzione di energia per il miglioramento dei processi
Componenti di sistema standard flessibili
  • Elimina i tempi di approvvigionamento inutili per i design personalizzati

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